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產品詳情 / Product Details

設備尺寸:2600*3100*2650mm

Equipment size:2600*3100*2650mm

兼容規格:6寸/8寸

Compatible specification: 6 in/8 in

可配至4個單片工藝腔體

Up to 4 monolithic process chambers

可回收2種藥液

2 kinds of liquid medicine can be recovered

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